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【微機(jī)械展】利用MEMS實(shí)現(xiàn)可變波長的通信用激光發(fā)光元件亮相
中國機(jī)械網(wǎng) 發(fā)布時間:2007/08/02
【微機(jī)械展】利用MEMS實(shí)現(xiàn)可變波長的通信用激光發(fā)光元件亮相



橫河電機(jī)開發(fā)出可通過MEMS結(jié)構(gòu)來改變面發(fā)光激光器(VCSEL)的波長的技術(shù),并在“微機(jī)械/MEMS展”上進(jìn)行了展板展示。展出元件中,通過金凸塊接合技術(shù)層疊了基于磷化銦(InP)的VCSEL芯片、以及集成有用于改變波長的MEMS部件的硅芯片。

  此次的元件在硅芯片上形成了帶有凹面鏡的多層反射膜,在該反射膜與VCSEL芯片發(fā)光部之間設(shè)置了間隙。波長由這一間隙的距離決定。由于間隙能夠隨著配備有多層反射膜的靜電致動器發(fā)生微小變化,因此可利用這一點(diǎn)來控制波長。應(yīng)用于光纖通信領(lǐng)域,輸出普通的波長為1.55μm波段的激光時,能夠在50nm的范圍內(nèi)改變其波長。該技術(shù)在實(shí)際應(yīng)用時,在采用波長復(fù)用技術(shù)的光通信系統(tǒng)中,能夠靈活地避開其它元件正在使用的波長,從而能夠使通信容量得到實(shí)質(zhì)性的擴(kuò)大.
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